二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #293818724 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是专门为集成电路(IC)和平板显示器(FPD)基板的制造而设计的先进蚀刻器/asher。它是一个高通量的平台,它结合了最先进的过程控制和积极的周期时间,以提供卓越的产量。TEL Tactras Vigus的强大功能集旨在满足各种客户需求。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus 蚀刻器/asher允许自动化,并为各种IC和FPD处理过程提供灵活性。它具有开放式平台体系结构,具有直观的图形用户界面(GUI),可实现快速设置和操作。通过使用先进的工艺控制技术,Tactras Vigus能够首次、每次提供可靠、可重复的蚀刻工艺。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus的工艺灵活性允许用户在保持最佳效果的同时蚀刻从小基板到大面板的一切。TEL Tactras Vigus具有紧凑的占地面积,可最大化可用工作空间。它利用多光束激光辅助烧蚀提高精度和更好的边缘清晰度。其高基板吞吐量可以提高生产率。集成的CompactLoadLock模块进一步促进了晶片的自动装卸。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus可以容纳铝阳极氧化、EDM、烧蚀和反应性离子蚀刻等工艺。它专为恶劣的环境应用而设计,例如汽车、通信、微波电子和医疗设备行业,这些行业需要强大的蚀刻解决方桉。蚀刻模块可以定位在工作台布局中,以提供灵活的实时蚀刻模式。TactrasVigus中的高级过程控制程序确保每次都可重复、精确的蚀刻。触摸屏GUI、可见指示器和设置为操作员提供了直观的用户界面。这使用户能够快速调整参数设置并微调蚀刻过程。各种可用的状态设定让使用者可以针对任何基材优化蚀刻工艺,而TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus亦提供即时蚀刻参数调整,以配合工艺条件或基材的变化。TEL Tactras Vigus结合了强大的过程控制技术,以确保可重复和准确的蚀刻过程。加密硬盘、自动晶片识别、环境监控以及温度、压力和电压监控等功能使TOKYO ELECTRON Tactras Vigus成为满足您蚀刻需求的理想选择。其紧凑的占地面积、灵活性和可靠性使得Tactras Vigus成为先进的IC和FPD基板蚀刻的首选。
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