二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是一款在半导体制造过程中提供卓越蚀刻性能和吞吐量的蚀刻器/asher。TEL Tactras Vigus采用独特的双室电化学蚀刻设备（ECE）设计，提供精确一致的晶圆蚀刻，具有快速的晶圆处理时间。这种多功能蚀刻器非常适合处理各种多样复杂的工艺，如SiC、SiGe、III/V化合物和Cu。该蚀刻器采用独特的双室系统设计。欧洲经委会单位允许不同的蚀刻配方和腔室温度，从而确保最佳蚀刻结果。此外，机器还允许通过其自动化过程进行过程优化和过程控制。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus提供了非常精确一致的蚀刻结果。该蚀刻器每小时可蚀刻25毫升（635微米），这是当今市场上可用速度最快的蚀刻器之一。此外，欧洲经委会的工具为整个晶片提供了极好的蚀刻均匀性，甚至提供了最具挑战性的蚀刻型材。此蚀刻器用户友好、高度可靠,并提供各种功能,例如集成的安全和环境控制。其他功能包括实时监控和分析工具，以及用于清洁和净化的内置自动灭菌功能。蚀刻室还提供独立的装卸机制，确保所有工艺的最大安全性和可靠性。Tactras Vigus的控制资产设计直观，允许快速、轻松的设置和操作。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是任何需要精确可靠蚀刻工艺的半导体应用的绝佳选择。其创新的双室模型提供了最大的效率和灵活性，量身定制，以满足广泛的蚀刻要求。此蚀刻器提供高吞吐量和可靠的过程控制,可帮助您实现生产目标。