二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras Vigus #9252288 待售

ID: 9252288
晶圆大小: 12"
Dielectric etcher, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras Vigus是一款为半导体和电路板设计的蚀刻器/asher。该设备精确度很高,可以通过其创新的深度反应性离子蚀刻(DRIE)技术进行编程,创建多种电路设计。TEL Tactras Vigus可以在基板的正面和背面进行蚀刻,产生高达40微米、蚀刻深度为1微米以上的错综复杂图桉。该系统可以在多基板配置上进行蚀刻,允许制造多层系统。其精密光束扫描仪能够识别和蚀刻标准和非标准几何形状。Vigus是一个半自动装置,设计提供快速、精确的蚀刻。这台机器使用一个氮离子等离子体来分布精确控制的蚀刻深度和角度,为你的电路板创造所需的形状。它有一个集成的光束查看器,在蚀刻过程中提供基板的实时图像,从而能够进行更详细的分析并确保高质量的蚀刻。它还具有一个自动对准工具来精确地将基板集中在蚀刻机内,以及一个自动火控资产,它对环境的变化做出了极其精确的反应。TOKYO ELECTRON Tactras Vigus设计方便安全维护。其先进的安全监测模型确保在加工过程中不会释放有害物质。其逼真的3D虚拟模拟功能还有助于详细分析蚀刻过程的效果和行为。它还包括高压报警设备,确保安全的环境,同时保护设备免受任何故障或环境变化的影响。总体而言,Tactras Vigus 蚀刻器/asher是一个功能强大、精确的系统,其独特的Deep Reactive Ion Etch (DRIE)可提供精确快速的电路设计。它具有直观的操作和安全措施,使其成为任何半导体或电路板生产设施的强大工具。
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