二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293591387 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一种高度先进的蚀刻/asher技术，在半导体工业中被用于广泛的工艺。TEL Tactras设备作为一种蚀刻器/粉碎器,效率极高、准确可靠。TOKYO ELECTRON Tactras系统通过使用感应耦合等离子体（ICP）源来产生自由电子，然后加速成薄膜层。ICP光源和光学聚焦透镜设计为在宽广的区域上提供均匀的等离子体光束密度，允许对蚀刻过程进行高度控制。Tactras有广泛的操作参数和可选参数，如压力、功率和温度。这样可以对过程变量进行微调，并获得最佳蚀刻速率和过程产量。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras包括一个交互式的可编程触摸屏界面，允许容易操作和自动化的蚀刻/asher单元。TEL Tactras机配备了互锁工具和射频防护护罩等高级安全功能。这些特点有助于保护人员和设备免受比较方桉辐射的潜在破坏影响。资产也是完全可调整和可配置的，以最大限度地提高吞吐量，最大限度地降低成本，并增强过程的统一性和可重复性。TOKYO ELECTRON Tactras 蚀刻器/asher适用于先进形式的微机械加工、沉积、光掩模和蚀刻工艺。此外，Tactras模型还可用于超细、低温、低压蚀刻工艺以及高温、高压工艺。此功能在精密半导体工业中提供了广泛的应用。总之，TEL/TOKYO ELECTRON Tacher/Asher是一种高度先进的蚀刻设备，提供高效、可靠、精确的蚀刻和灰化工艺。TEL Tactras系统具有一系列安全特性、可调参数和现代化的触摸屏界面,非常适合精密半导体行业。