二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #293667129 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一种用于微加工和半导体加工的蚀刻器/灰化器。它旨在以经济高效的方式高精度、高质量地蚀刻和磨损基板。TEL Tactras能够蚀刻和粉刷多种材料,包括多晶硅、金属、二氧化硅、氧化物,甚至一些有机底物。它具有低压、低温、高精度的等离子体生成设备,提供卓越的蚀刻和灰度控制。该系统由各种蚀刻器和灰烬器提供动力,这些蚀刻器和灰烬器可用于高精度和可重复性的定制过程。蚀刻器/asher包括一个卸载站,它可以自动装载和卸载基板,并确保负载/卸载周期耦合以获得最大吞吐量。TOKYO ELECTRON Tactras还配备了立体显微镜,可以直接观察蚀刻和灰化过程。它配备了一个创新的自清洁单元,以确保蚀刻器/asher始终清洁和操作。该机器由用户友好的软件控制,该软件允许轻松设置、操作和监视蚀刻和灰化条件。Tactras etcher/Asher是半导体制造和高精度微加工工作等工业应用的理想选择。它能够实现卓越的可靠性和可重复性,允许高产和高质量的产品。该工具提供了可靠、高效和经济高效的解决方桉,使其成为蚀刻器/asher的绝佳选择。
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