二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9286335 待售
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ID: 9286335
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Etcher
EFEM
TM
Power racks
AC Racks
(3) Chambers
Accessories
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一种蚀刻/asher设备，提供可靠、稳定、高精度的各种不同材料处理。该系统通过智能设置和过程监控实现全自动，使实验室中的每个人都能从其准确的性能中受益。TEL Tactras是以先进的机器人技术设计到CAE碎片、粒子，并进行高效的涂覆过程。它具有自动对焦调节功能,可实现高度精确的表面层轮廓,确保即使在难以到达的区域也能获得卓越的蚀刻效果。TOKYO ELECTRON Tactras还有一个独特的两级真空单元，可以让基板快速高效脱气，从而减少加工时间。易于阅读的液晶显示屏提供实时处理状态信息,包括完成前的剩余时间和详细的食谱列表,进一步增强了用户体验。通过包括密码锁和紧急停止开关增强了安全性。该机器非常适合用于各种实验室环境，包括材料实验室和大学研究部门。Tactras能够加工铜、金以及其他贵金属和合金。使用溅射和热蒸发技术进行蚀刻，使其具有很高的均匀性和准确性。两级真空工具还能够对硅等难以蚀刻的材料进行优越的加工。拥有广泛的腔室功能，TEL/TOKYO ELECTRON Tactras可以针对不同的应用进行定制。资产的内置气体模型意味着它能够利用光掩模开发者在基板上蚀刻图样（例如MEMS设备图样）。AR/VR蚀刻也是可能的,允许以最短的切割时间提高各种材料的工艺精度和分辨率。TEL Tactras设计为低维护,具有一系列自我诊断功能,可帮助快速准确地检测任何错误。它的模块化设计还允许用户根据需要轻松扩展设备。TOKYO ELECTRON Tactras为有经验的用户和没有经验的用户提供了多种软件工具。因此,Tactras为各种蚀刻和涂层需求提供了功能强大且用户友好的解决方桉。
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