二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9304349 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一款设计用于半导体晶圆制造的下一代蚀刻器/asher。它是一种经济高效的解决方桉,可以同时执行蚀刻和剥离过程。该机采用先进的模式优化算法和多种计量特性，具有专有的过程控制设备。该机具有高速、高性能的直驱电动机，可实现快速定位精度。凭借其高速纳秒伺服系统，TEL Tactras能够蚀刻低至80 nm的特性，实现晶圆表面的超精细图桉。TOKYO ELECTRON Tactras通过控制温度、压力、流量和功率等工艺参数实现精密蚀刻和剥离。为了保证过程的稳定性，它采用了气流监控器、多区晶圆温度控制单元和多相过程等离子体控制功能来精确控制电离气体的分布。Tactras还具有多模块功能，允许操作员更改配置以满足特定的流程要求。它支持一个开放的架构来支持不同的化学研究和开发。它还支持第三方软件、探测器和设备的集成。TEL/TOKYO ELECTRON Tactras具有通用电源、双室设计和先进的冷却机，为准确、可重复的工艺结果提供稳定的环境。它的五边形腔室设计在定位晶片方面提供了更大的灵活性，允许您从多个方向和角度处理样品。TEL Tactras还包括一个直观的触摸屏控制界面,它提供了快速、轻松的流程设置。触觉导航使操作员可以轻松地控制蚀刻器的参数，并提供详细的过程视觉反馈。最后，TOKYO ELECTRON Tactras的设计寿命长，性能一致。它具有高效的散热工具,不需要频繁的维护工作。它还支持大量晶圆尺寸，并具有用于精确过程控制的内置校准资产。