二手 TEL / TOKYO ELECTRON Tactras #9397360 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Tactras是一款蚀刻器/asher，旨在提供半导体产品制造中的精密蚀刻和剥离能力。它是一种高通量、全自动的设备,具有可靠而坚固的重型制造环境设计。该系统由两个隔间组成。第一个是锁载室，用来容纳反应堆室，这是实际发生蚀刻的地方。该加载机制便于基板的快速、方便的装卸。基材浸没在蚀刻溶液中，然后搅拌并暴露于具有特定工艺脉冲的气体溷合物中。该装置能够从晶圆型基板上蚀刻到尺寸不超过13英寸的样品。第二室是控制器站，操作员可以在其中输入蚀刻过程的各种工艺参数。机器提供了一整套可以调整的过程参数，以适应特定的产品需求。可以设置参数来控制时间、温度、气体与溶液的比例、加工电压等参数，以达到理想的效果。TEL Tactras提供高级数字控制和高度先进的工具集成。以太网连接允许生产监控和数据收集,而数据库资产则提供准确的数据记录。该模型还可以与其他蚀刻器和灰烬接口,进一步简化生产过程。该设备列有UL，符合RoHs指令，为操作员提供了典型的安全和可靠性水平。TOKYO ELECTRON Tactras的自动化系统确保制造过程高度一致，即使是最复杂的产品也能提供高质量的结果。该装置具有卓越的精密蚀刻/灰化功能,旨在满足现代制造的严格要求。