二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #293592867 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一种超高精度、高度可靠的蚀刻器/asher，具有许多有用的特性。它是一种中等精度、负载能力中等的设备。该系统由锁载室、等离子体源、基板加热元件、蚀刻室、背面冷却单元和排气单元组成。该锁载室配有一个装载口和闸阀，用于装入/装出基板。等离子体源是一种电感耦合射频（RF）源，用于在蚀刻室中产生高密度等离子体。基板加热元件可用于精确控制蚀刻室内基板的温度。蚀刻室设计用于维持高达500 °C的工艺温度，因此适用于广泛的蚀刻工艺。蚀刻室配有穿孔的顶板和底板，使加工气体可以均匀分布在腔内。腔室还有一个集成冷却单元，以确保整个基板的温度均匀。背面冷却装置用于在蚀刻过程中冷却基板。机组的冷却效果可根据基板尺寸、蚀刻工艺和工艺条件进行调节。排气装置的设计是为了保持工艺室的清洁，同时防止工艺气体逸出到环境中。除了上述功能外，TEL TE 480 HGC配备了两个接口；工业4.0和扩展服务控制（ESC）。Industry 4.0接口提供设备与操作员之间的安全通信,并有助于确保蚀刻过程正常运行。扩展服务控制（ESC）模块允许远程维护、机器诊断和升级功能。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是中精密蚀刻和灰化应用的绝佳选择。该工具的高精度和可靠性,加上先进且易于使用的控制接口,使其成为各种半导体相关应用的理想选择。
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