二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC #9226078 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 HGC
ID: 9226078
晶圆大小: 6"
优质的: 1989
Etcher, 6" 1989 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一种蚀刻器/asher,一种用于制造电脑、游戏机、家电等各种终端产品的微电子的机器。这种类型的蚀刻器/asher是为在高密度应用中的精度和准确性而设计的。TEL TE 480 HGC具有约177 x 159 mm的大型单件晶片表面积,具有处理直径6(或8)英寸的硅晶片的能力。从氧化到蚀刻/灰化、各种金属沉积、离子植入和沉积等各种生产工艺,这种蚀刻器/灰化器能够处理大多数典型的微加工任务。TOKYO ELECTRON TE 480 HGC为确保处理输出的均匀性提供了高度的控制。高气体处理效率(HGE)使其具有高能效.它还具有经EPA类验证的温度和压力控制系统,以微调工艺要求。两级主可调压力系统进一步保证了粘附或蚀刻厚度均匀。TE 480 HGC采用了最先进的先进绝缘材料,用于均匀的热分布和改进的热性能。这是用位于设备下层的温度传感器完成的,以确定最佳的工艺温度。它安静的操作进一步使机器能够适应任何环境。此外,TEL/TOKYO ELECTRON TE 480 HGC提供直观的用户友好界面。它可以用蚀刻深度、蚀刻速率、压力、气体类型等多种参数轻松编程。它可以手动编程,也可以通过计算机控制的监督系统编程,以便为大多数流程选择适当的配方。最后,TEL TE 480 HGC通过了ANSI/SEMI-S2-98 SMC-1000标准,符合半导体行业标准。这样可以确保机器的所有零件和操作都按照最高质量标准进行设计和测试。总体而言,TOKYO ELECTRON TE 480 HGC是一款可靠的自动化蚀刻器/Asher,旨在通过其尖端功能提供精确和精确的微加工解决方桉。它对高密度应用的适用性进一步使其成为寻求生产优越微电子产品的制造商的理想选择。
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