二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9098935 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 480是一款具有高性能的表面酸和等离子体蚀刻的蚀刻/灰烬。该蚀刻器可以在同一过程中处理单面和双面基板。腔室涂有聚四氟乙烯（PTFE），防止颗粒粘附在被蚀刻的零件上。蚀刻器还配备了自动内置的安全功能,包括在检测到过热蚀刻剂时关闭过程的能力。蚀刻器有一个自动晶片处理设备，用于监视腔室，并有助于确保晶片的准确装卸。它还有一个电离气体（IG）蚀刻系统，利用高密度电离气体（IG）在不留下毛刺的情况下快速蚀刻底物。IG蚀刻方法非常适合在设备上进行精确复杂的图样蚀刻。IG蚀刻单元还提高了蚀刻速度，减少了蚀刻每个设备所需的时间。TEL TE 480蚀刻器具有大腔室（4.2 "X 4.5" X 10"），容量为60个晶圆，直径为300 mm。它还具有一个频率范围为100-600 kHz的高功率射频发电机和一个多频功率控制机器，能够在蚀刻过程中向基板有效输出功率。蚀刻器还配备了隔离的射频动力工具和4千瓦的最大蚀刻功率。计算机控制的资产可以被编程为同时蚀刻多个晶片，进一步提高蚀刻速度。蚀刻器有各种系统来监控过程，包括当压力超过设定值时警告用户的实时模型压力警报，以及检测异常气体泄漏的设备室泄漏警报。它还有一个腔室温度控制系统，使腔室温度在设定的范围内保持恒定。该蚀刻器设计为易于操作和维护，其用户友好的界面。除自动安全功能外，蚀刻器还附有追溯控制程序，保证了高质量的蚀刻。该单元记录晶圆处理历史，如所使用的蚀刻配方和蚀刻样品数量。这台机器还有助于减少由于材料或设备故障而造成的故障,并能够对问题基板进行实时监控和重新处理。总体而言，TOKYO ELECTRON TE 480蚀刻器是一种可靠、高性能、用户友好的蚀刻器，非常适合在各种基材上蚀刻错综复杂的图桉。其广泛的安全功能、可追踪性控制程序和自动晶圆处理工具使用户能够在使用最少资源的同时准确、快速地进行蚀刻。