二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 480 #9269143 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 480
ID: 9269143
晶圆大小: 5"
Etchers, 5".
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON TE 480是一种用于半导体制造和微电子的蚀刻器/灰化器,采用先进的高精度应用和工艺来生产质量最高的元件。它提供了极其精确、可靠和可重复的背蚀工艺,能够从多种材料中产生高密度、高纵横比的蚀刻。TEL TE 480使用专有的TEL/TOKYO ELECTRON控制系统来管理蚀刻过程,利用高级算法来实现优化的蚀刻时间和更高的小元件产量。TOKYO ELECTRON TE 480允许选择的蚀刻深度可达200微米,其蚀刻能力比其前代产品高30%。此外,它还配备了各种尺寸从2升到15升不等的容器,以提高工艺灵活性,并配备了一系列温度控制系统,使其能够用于各种应用,包括洁净室工艺。此外,其自动晶片传输和弹匣系统可实现高吞吐量,提高正常运行时间和晶片安全性,集成端点图像(EPP)系统能够检测边缘和其它不规则性,从而实现自动停止位置以确保高精度。在软件方面,TE 480具有多种监视和分析功能,包括强大的过程管理和报告以及实时调整。此外,各种配方可用于满足各种蚀刻作业需求,其他功能(如红外光源功能)可利用高级技术进行高精度蚀刻。总而言之,TEL/TOKYO ELECTRON TE 480蚀刻器是为满足当今精密微电子产业的需求而设计的,装备精良,能够提供高质量的蚀刻和灰化效果。
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