二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293823431 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款高级蚀刻器/asher，专为一系列半导体应用的高级蚀刻工艺而设计。蚀刻过程包括使用化学蚀刻在表面上形成指定的图样、形状或设计。这通常用于微电子制造过程，如光刻，以创建所需的成品。TEL TE 5000 ATC专为高精度、高通量的蚀刻应用而设计。它配有精确控制系统，用于精确输送温度、压力和气体系统，以创建正确蚀刻的表面或结构。它还有一个高速扫描设备，用于精确分析各种半导体器件中的蚀刻过程和执行过程。这种蚀刻器/asher由具有多层安全的高级材料构成，以防止操作风险和错误。该系统设计易于操作和用户友好。它有一个直观的操作面板,可访问各种数据和控制设置。其特点是采用不锈钢制成的全尺寸加热室，用于热控蚀刻配方，以保证蚀刻工艺的可重复性。该装置的快速对准反馈摄像机可以监控蚀刻的质量，该摄像机提供图样密度和深度等各种标准的瞬时成像。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC还利用射频火花放电技术进行大量的清洗和蚀刻工艺。它是为处理湿蚀刻应力而建造的，能够处理硅和非硅材料的蚀刻。蚀刻器/灰化器采用先进的气体输送机设计，允许清洁、干燥和惰性气体的无缝组合，用于等离子体增强的蚀刻过程。该工具还使用先进的基板分期资产，以有效利用空间和减少操作员疲劳。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC设计用于多种高性能半导体制造环境。它具有灵活的体系结构,允许在生产线上以最小的重新配置实现。它具有很高的工艺重复性，同时提供了优异的精密蚀刻效果。