二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #293830626 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款高精度、多功能的干式蚀刻器/asher。它非常适合各种应用，包括光刻、高级蚀刻、隔离、坡道退火和热退火。蚀刻器提供了多种特性和功能,例如高蚀刻速率、基板控制、清洁过程以及减少周期时间的应用程序设计。蚀刻器利用一个专利的电磁辅助电子束（EMEBE）源来清洁腔室，减少循环时间并导致一致的处理。EMEBE源也用于在蚀刻室中生成等离子体；通过这样做，污染物和残留物可以很容易地得到管理。该蚀刻器包括一个自动基板安装设备，允许快速和方便的基板放置和真空室密封维护。该系统还包括可调节性，允许每个基板独立或集体调整。TEL TE 5000 ATC有控制热和射频系统。射频单元可以容纳多种频率，从而产生同时双频操作，这对于解决处理中经常遇到的阻抗和表面成分差异至关重要。射频机还能准确管理基板和工件表面的温度。ET 5000 ATC具有先进的压力和温度控制，可增强颗粒管理和减少蚀刻持续时间。它具有多种压力水平，从大气压到次大气压，以及多种安全设置，以提高安全性。该腔室配备了多种传感器，包括用于监测温度、压力和流量的红外照相机和热电偶。传感器提供实时数据采集，允许用户实时监控和调整参数。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是多种干蚀刻和灰化应用的理想选择，并以多种底物和材料提供优异的效果。高精度的蚀刻退火能力，加上其先进的工艺，使其成为高端研究和生产应用的理想工具。