二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9033639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是专为多晶硅等半导体工艺而设计的高性能蚀刻器/asher。它是一个全自动设备，具有高度先进的粒子控制系统和激光技术，提供无与伦比的生产力和出色的表面光洁度。TEL TE 5000 ATC具有先进的多室沉积单元，该单元由能够容纳各种基材尺寸的多个蚀刻罐组成。蚀刻工艺可根据工艺配方进行调整，图形控制，使用方便。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC使用自动厚度控制（ATC），通过专门的光学机器监测沉积。这项技术为用户提供有关薄膜厚度和工艺监控的实时反馈。TE 5000 ATC还带有先进的温度控制，使得基板在加工过程中能够快速加热和冷却。这样可以提高工艺一致性和提高沉积产量。该设备配备了EMC噪声抑制功能,可减少电磁干扰并将噪声级别降至最低。此外，该工具还包括安全的氮气供应，用于高稳定性的气体蚀刻。除了出色的蚀刻性能，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC还具备强大的驱动资产，提供高速运动控制。运动控制模型允许同时操作多个具有精确基板定位的腔室，从而显着减少了进程步骤之间的等待时间。TEL TE 5000 ATC还配备了基板检索设备，可以快速准确地从蚀刻罐中检索较小的基板。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一种先进的蚀刻/asher单元，非常适合用于生产多晶硅等半导体工艺。它提供卓越的性能和卓越的工艺控制,以及减少蚀刻时间.此外,该系统还提供安全的氮气供应和先进的温度控制,以提高工艺一致性,并抑制电磁干扰（EMC）以实现更安静的操作。TE 5000 ATC凭借其高速驱动单元和自动基板取回机，是生产优质半导体器件的可靠、经济实惠的选择。