二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9098711 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC（蚀刻/灰化）设备是一种半自动化、多用途、高级蚀刻和灰化系统,提供多种高性能蚀刻和灰化工艺。TEL TE 5000 ATC单元是一种模块化机器,旨在提供卓越的蚀刻和灰化性能及可变性,以及最高的生产率。该装置预建有四个不同的实验区，用于同时处理多个样品。这四个过程可以完全定制，以满足任何实验的个别要求。此外,TOKYO ELECTRON TE 5000ATC可以通过附加模块轻松定制,从而进一步扩展其功能。该工具由精密控制的HT型电子枪提供动力，能够同时蚀刻和灰化。具有触摸屏控制和实时过程监控功能的直观用户界面使其易于使用。它有一个改进的等离子体发生器，用于提高金属基板上的蚀刻速率，以及一个用于自动装卸的批装机。TE 5000 ATC是一种精密、高度自动化的工具，用于蚀刻和粉刷各种材料，包括硅、复合半导体和金属。它旨在根据当代蚀刻/灰分处理的要求,产生可重复、精确的蚀刻和灰分结果。TEL TE 5000ATC具有强大的流程和数据管理功能,允许用户存储和检索配方及其他流程参数。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC使用种类繁多的气体和精确的输送系统，以提供准确且可重复的蚀刻/灰烬结果。积极控制和监测气体供应，以确保一致和可重复的蚀刻速率。独特的压力流控制器允许对多种气体进入腔室进行精确的压力控制。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一种功能强大的多功能工具，可精确蚀刻和粉刷多种材料。TEL先进的工艺特性使其成为涉及硅、复合半导体和金属的各种蚀刻和灰化工艺的理想选择。其用户友好的界面和可靠的过程控制使其成为需要一致准确结果的研究人员和蚀刻技术人员的理想解决方桉。