二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142630 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一款先进的蚀刻器/asher设备，用于材料的大容量加工。它使用单晶片蚀刻室，以高达每小时50个晶片的速率加工直径最大200毫米的基板。该系统由多桶载荷锁定站、高稳定蚀刻室、低压等离子体蚀刻源、闭环消减单元以及由隔膜泵和过滤器组成的排气机组成。蚀刻室具有统一的温度和压力控制，使其更容易，不需要复杂的反应性气体控制。TEL TE 5000 ATC具有集成的计算机工具和高级监控功能。它设计用于HPLC级CF4或NF3气体。资产可以包括等离子体蚀刻、反应性离子蚀刻、一个循环钝化等几个工艺步骤。每个进程运行时都会记录进程参数,并且可以将结果与目标配方进行比较。该模型设计用于高精度图样蚀刻，允许对蚀刻参数进行精确控制，如选择性、蚀刻速率和精度。TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC设备可以处理多种基材，从金属到硅片和绝缘膜。它还具有晶片和盒式磁带的自动加载/传输系统。它具有用于精确蚀刻室压力控制的自动泵控制.该设备具有高吞吐量的过程能力,具有很高的产品一致性可重复性。它具有内置摄像头的高分辨率可视化功能。该机设计用于可靠的操作和最小的停机时间.它具有内置的可靠电路和过程监控，以及内置的安全互锁工具。该资产设计方便维护和清洁，可与个人电脑连接，用于数据记录和记录保存。该模型的设计符合所有适用的安全和环境法规。TE 5000 ATC是一种用于大容量处理的可靠且先进的蚀刻器/asher设备。它是为精确控制蚀刻过程而设计的，还具有集成的计算机系统和监控能力。它是一个安全可靠的单元，易于维护。适用于一系列基材，能提供一致可靠的结果。