二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9142638 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一种反应性离子蚀刻器（RIE），用于去除基板表面的材料层。这个装置有一个先进的火炬室（ATC）设备，提供高速的材料蚀刻和高精度的加工为广泛的应用。该系统通过结合高温氢基等离子体和先进的火炬室设计，提供高速率、低损伤的蚀刻工艺。TEL TE 5000 ATC的主要部件包括等离子体室、涡轮分子泵和高级火炬室（ATC）。等离子体室采用先进的缝隙密封结构建造，最大蚀刻面积为395毫米乘278毫米。涡轮分子泵是一种高性能的泵，用于通过产生高真空来疏散腔室。最后，ATC利用高温、高效的氢基等离子体产生强大的蚀刻工艺。该单元由Computer Numerical Control （CNC）软件控制，软件提供了包括过程控制、配方库、报警模式和数据记录功能在内的一系列功能。该机还配有温度比例反馈电源（TPFS），可提供优化的蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC提供适合高温操作的高速蚀刻工艺。该装置设计用于可重复、精确、快速的深层结构、狭窄特征和大面积的蚀刻和清洗。它能够蚀刻高分子、硅、砷、不锈钢、钛等多种硬质金属等材料。该装置用于生产手机、医疗设备和电子元件。总体而言，TE 5000ATC是一种先进的蚀刻和清洁工具，具有使其适合许多应用的特点。该装置操作方便，提供了一种可重复、精确的蚀刻工艺。它能够在高温下以高速度和精确度蚀刻各种材料。