二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236836 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一种为半导体工业等离子体处理应用而设计的蚀刻器/asher。它利用等离子体辅助蚀刻和湿式化学清洁工艺相结合，在基板上创造清洁和精确的特征。该设备专为实现高水平的可重复性和准确性而设计，同时为广泛的流程开发和优化提供了平台。TEL TE 5000ATC是一种双腔室系统，可以使用独立的工艺参数和设置同时处理多达两个基板。主室配有旋转级、终效夹具、目标控制和等离子体电源，以及用于产生针对基板表面的电离溶液的各种气体。二级室设有装卸站、旋转台及溶液供应线。在进入主腔室进行蚀刻过程之前，先在二级腔室中预先清洗基板。TOKYO ELECTRON TE 5000ATC提供高度的过程控制，具有广泛的气体输送、压力、温度和安全系统。使用触摸屏控制面板可以在本地和远程调整等离子工艺参数。该单元配有内置晶片边缘检测机，可容纳包括硅、III-V化合物在内的一系列基材。各种蚀刻工艺都是可能的，包括干蚀刻、定向蚀刻和均匀蚀刻，以及三维各向异性蚀刻。TE 5000ATC与其他工业自动化系统的接口以简化生产,并已设计为确保安全至上。它采用节能的等离子体生成工具，降低能耗，完全符合最新的环境法规。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是为半导体工业等离子体处理应用而设计的先进蚀刻器/asher。它结合了等离子体辅助蚀刻和湿式化学清洗工艺，提供了高精度、重复性和控制性，并促进了工艺开发和优化。设计时对人员、环境和底物都有极大的安全考虑。