二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC #9236837 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 ATC是一种最先进的蚀刻器/asher，旨在提供精确、可重复的工艺条件。它具有带有三轴平移级的工艺室,旨在为各种蚀刻和剥离应用提供高精度的结果。自动控制设备提供了良好的过程重复性，同时提供可靠和可重复的结果。该蚀刻器/灰化器具有真空系统，经过优化，可提供快速的腔室疏散、空气流入和颗粒清除。先进的压力控制装置可确保整个蚀刻过程中的精确和可重复的压力条件。这款蚀刻器/asher配备了1000 W RF电源，允许各种应用在广泛的频率范围内运行。多位置基板加热器在整个基板上提供极好的温度均匀性。直观的Human Machine Interface （HMI）允许方便的机器配置和数据记录。此蚀刻器/asher与众多选项兼容,包括湿显影系统、原位端点检测器、原位拾荒器、原位背面晶片清洁器等。TEL TE 5000 ATC除了易于使用和高度可配置外，还考虑到安全性，附带集成安全系统，如真空互锁、潜在爆炸性大气传感器、负载锁安全互锁等。还包括一系列射频监测系统，如等离子体监测模块，在蚀刻或剥离过程中监测射频功率和相应基板处理参数。射频功率和过程均匀性的提高也有助于进一步提高过程的重复性。总体而言,TOKYO ELECTRON TE 5000ATC是一款功能极其强大的蚀刻器/asher,旨在提供可重复和可靠的结果,是各种应用的理想解决方桉。它的高级功能有助于确保可重复性和可靠性,同时提供出色的流程一致性和监控功能。