二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC #293747705 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC是一种用于加工半导体的蚀刻器/asher。它是一种可靠且易于使用的工具，用于多种基材材料，包括硅、氮化移铵和碳化物。它旨在提供高水平的蚀刻均匀性和可靠性，非常适合生产高质量的半导体器件。TEL TE 5000 LEC利用许多高级功能优化蚀刻工艺。它配备了高度精确的光传感控制设备，对等离子体能级、压力等参数进行监控和调整，以确保最佳蚀刻均匀性。此外，该系统还有一个获得专利的晶圆均匀性监视器，该监视器不断监测设备和基板的温度，并调整工艺变量，以保持所需的蚀刻速率和均匀性。该机还配备了工艺优化和故障检测的先进算法。TOKYO ELECTRON TE 5000 LEC利用高真空技术保证了可重复、均匀的蚀刻工艺。该工具设计用于支持各种基材材料，包括硅、氮化氙和用于蚀刻工艺的碳化物。此外,资产还配备了可存储多达24种配方的可编程内存,从而可以轻松快速地从蚀刻一种材料切换到另一种材料。该模型还包括一个全面的过程监控设备，允许操作员跟踪所有过程参数并实时调整。此特性允许过程条件的快速变化以及蚀刻速率和均匀性的优化。该系统还包括一个自动清洁和预防性维护单元，以确保最佳性能，帮助降低维护成本和最大限度地提高机器正常运行时间。TE 5000 LEC的先进设计和特点使其成为生产高质量半导体器件的理想工具。它可靠、易于使用，并配有先进的功能，以最大限度地提高蚀刻速率、均匀性和工艺稳定性。它是任何半导体生产环境中最完美的蚀刻工具。