二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293652771 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一种用于半导体制造和其他工业过程的蚀刻器和asher系统。该系统由工艺室、晶圆传递机器人、负载储物柜和控制器组成。工艺室是一个装有平面化室、感应耦合等离子体（ICP）或电子束（EB）源的真空密封不锈钢外壳，以及两个气体输送系统。平面化室设计为在蚀刻图样边缘提供有效的等离子体护套层，并在沟槽底部提供均匀的过度蚀刻，从而实现精确的图样化。ICP或EB源负责蚀刻沟槽、激活和干蚀刻SiO2和Si3N4层。这两个气体输送系统负责提供蚀刻和清洁气体，以便进行有效的等离子体蚀刻和感测加工室内的压力。晶圆传递机器人负责将晶圆在工艺室内和工艺室与负载锁之间传输。机器人配有凸起对准器，对准嵌入腔室地板的晶片和轨道，用于定位机器人手臂。机器人由机器人控制器和软件控制，确保晶圆以安全可靠的方式传输。载荷导管用于牢固地固定晶片，同时将其插入和移入加工室。载荷犬有内置的微探针和真空感应控制，以确保晶圆的正确定位。控制器负责控制整个系统的操作。控制器由主板、用户界面板、显示板和通信界面板组成。它监测和调节过程，包括气体流动、功率水平、温度和压力，以及晶圆的运动。必须密切监测所有参数，以确保这一进程取得成功。与手动工艺相比,TEL TE5000提供了卓越的蚀刻和灰化性能,提高了生产效率和产量。