二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293747707 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款先进的蚀刻/灰化设备,提供一流的性能和生产力。这种半自动系统设计用于各种基板的经济高效和可靠的加工，包括金属、绝缘体硅（SOI）基板和其他材料。通过使用强大的SCS（基板调节装置）技术，其运动控制机提供优越的基板管理，大大减少了蚀刻前表面准备所需的时间。这种高端蚀刻平台也可用于加工尺寸较小的基板。TEL TE5000的设计目的是为各种基板上复杂、精细的特征提供高质量的蚀刻效果。它具有多轴高速X、Y、Z扫描级，允许更快、更精确的基板移动。该工具还包括高精度激光干涉仪，有效补偿热膨胀和其他干扰。它的闭环反馈确保了大型基板尺寸的高蚀刻一致性，使蚀刻过程具有卓越的重复性和可靠性。资产还包括一个集成的先进大气等离子体源，它优化并控制了蚀刻过程的等离子体平衡、压力和温度。该模型具有高效的抗蚀剂去除设备，为可靠、均匀的抗蚀剂去除提供了增强的软烘烤工艺。TOKYO ELECTRON TE-5000的蚀刻速度通过其先进的RF-ETP（RF增强-通量工艺）技术进一步提高。这一创新工艺减少了蚀刻所需的时间，同时提高了蚀刻精度。TOKYO ELECTRON TE5000的高效运行和易于维护，使其适用于恶劣生产环境中的手动和自动化系统集成。这种低成本、高性能的蚀刻装置提供了卓越的成本节约和无与伦比的性能。由于其卓越的蚀刻能力,TEL TE 5000被推荐用于当今技术要求最高的应用程序。