二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293758430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一种用于多种工艺的蚀刻器/asher。它是一种多站工具，可用于光刻去除、金属蚀刻和薄膜沉积。它专为多种应用而设计,能够处理低批量和大批量生产需求。TEL TE5000配备了数字控制板，为用户提供精确的控制和准确的结果。该工具还配备了车载诊断设备，使维护和故障排除更加容易。TOKYO ELECTRON TE-5000具有机械式XYZ运动阶段,载荷容量可达200磅,可调节高度,X、Y和Z轴的运动范围可达45度。该系统还具有广泛的外围设备，如可编程控制器、多头、视觉系统、机器人手臂和气体溷合面板。这允许用户自定义设备以满足其独特的要求。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000还具有耐用的不锈钢结构，设计可承受多种用户条件，包括-30C到+60 C的可变温度范围、20-90%的可变相对湿度范围以及5-10.3 bar的可变压力范围。该机器可容纳直径不超过8英寸（200毫米）的晶片,并且设计为与各种反应室和刀具配置兼容。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000还提供了高达+160 C的可调温度范围、可调加压气体通道以及保护精细工艺材料免受热损伤的高温安全系统。该工具还提供了一个集成视觉工具，允许用户检查工件表面特征，使他们能够快速调整蚀刻或沉积过程，以确保质量结果。除了TEL TE-5000的功能外，它还兼容了各种各样的半自动和自动加载系统，使其成为低批量和大批量生产的理想解决方桉。该资产与多种材料兼容，包括光刻胶、硅、蓝宝石等材料，使其成为多种应用的通用工具。总体而言,TE 5000是一款可靠高效的蚀刻器/asher,旨在处理各种过程。它是一个多站工具，具有广泛的功能和外围设备，允许用户定制模型以满足他们的特定需求。TOKYO ELECTRON TE5000提供精确的工艺控制，温度范围广，可靠性高，生产效率高，是蚀刻沉积工艺的绝佳选择。