二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293772672 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是半导体工业的最先进的蚀刻器/asher。这种设备的设计能够提供极好的准确性和可靠性，即使在通过困难的材料进行加工时也是如此。该系统具有高精度蚀刻/灰化能力，以及精密切割、钻孔和焊接应用。内置温度传感器能够以极好的精度实现自动温度控制。TEL TE5000可以同时执行蚀刻和灰化过程,这是半导体生产中必不可少的过程。该单元还具有一个用户友好的图形操作员界面，提供对过程参数的完全控制，以及一个统一的软件包，用于导入、修改和导出程序数据，用于蚀刻和灰化过程。TOKYO ELECTRON TE-5000包括一个坚固的真空冷却室,用于有效的蚀刻和灰化过程.该腔室有助于确保每一层的图桉均匀，并最大限度地减少对基板的加热效果。此外，该腔室还配备了延迟滞后压缩机和过滤器，以确保清洁和稳定的环境。该机具有高分辨率的6轴机械臂，用于加工材料的运动。这种机械臂提供了快速、准确和可重复的运动，产生了优越的层分辨率和优越的过程重复性。使用者也可以在过程中控制材料的流量。此外,TE 5000还配备了各种监测系统、数据记录系统、输入/输出设备以及用于蚀刻和灰化过程的控制系统。它还具有一个大容量的腔室储罐，用于储存工艺材料，以防止污染。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000在每个周期前都经过全面校准和测试，设计为质量和性能超过客户规格和行业标准。该工具为半导体行业的各种应用提供了更高的准确性和可靠性。