二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #293820984 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是由TEL开发的高精度晶圆蚀刻器。该蚀刻器适用于广泛的应用，包括半导体处理、MEMS、显示处理和光子学。TEL TE5000具有先进的等离子体蚀刻技术和先进的光辅助蚀刻技术。该蚀刻器提供了极其精确的蚀刻控制，实现了高长宽比，并为各种蚀刻过程提供了出色的均匀性和吞吐量。蚀刻器具有精密的腔室设计，最多可进行5级蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TE-5000具有高通量和高工艺精度.蚀刻器的设计可容纳200 mm x 200 mm的加工室尺寸，以及300 mm的晶圆尺寸。晶片装卸过程也可以是自动的，允许有效的批处理。TE-5000配备了先进、用户友好的软件界面。界面使得设置和控制蚀刻过程变得容易。该软件还使用户能够监控和控制气体流速、压力、气体溷合比等各种参数。它还允许用户使用在该过程中收集的数据来分析和优化蚀刻过程。TEL TE 5000采用优化的腔室结构设计，提供卓越的蚀刻均匀性和工艺重复性。它同时包含RF和DC源,为用户提供对过程变量的强大控制。此蚀刻器的其他功能包括执行快速温度控制的能力、可选的晶圆映射能力以及快速的机器人手臂设计。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000是一款高度先进、可靠、用户友好的晶圆蚀刻器。这种蚀刻器是各种半导体处理、MEMS、显示处理和光子学应用的绝佳选择。通过其先进的硬件和软件,TEL TE-5000提供了卓越的蚀刻效果,具有卓越的重复性和精确度。