二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9068911 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款为半导体电路蚀刻而设计的asher或蚀刻器。它是一种高精度的机器，可以精密蚀刻几纳米的屏障，在超纯晶片或薄膜中产生细纹。蚀刻过程由软件、硬件和真空控制硬件的组合精心控制。TEL TE5000设计用于干（等离子体）或湿（液）工艺中的蚀刻。在干蚀刻中，机器使用等离子体枪和电极来构建离子和电子的反应性环境，从而将设计蚀刻到基板上。在湿蚀刻中，液体化学物质与水溷合，这种溶液喷洒到基材上产生蚀刻。TOKYO ELECTRON TE-5000可以一次蚀刻两个大区域（称为批蚀刻），也可以以受控速率在晶圆表面移动，同时以图样蚀刻小部分（称为步进重复蚀刻）。机器的真空确保等离子体和液体远离晶片，各种传感器测量蚀刻过程并记录过程参数，以便进行质量控制。蚀刻过程也可以用生成模式设置的计算机程序来控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000还能够利用晶圆上的掩蔽材料层或执行反向蚀刻过程来产生复杂复杂的图样。此过程通过平面光掩码（称为"升空"）创建可行的模式。另外，还可以进行溅射、化学气相沉积和离子注入等二次过程。TE-5000是一个可靠的蚀刻系统，能够快速、精确地产生高分辨率的蚀刻。其精细的控制是由于其先进的设计加上其精密的软件控制系统。TE5000是半导体工业精密蚀刻的重要工具。