二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9181766 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款蚀刻器/asher，旨在有效蚀刻和灰分晶片、集成电路以及其他具有精确和可重复性的元件。该机利用先进的光学分光光度计，对工艺参数进行实时精确测量，以实现卓越的蚀刻和灰化。TEL TE5000创造的超高真空环境可防止空气中的颗粒影响蚀刻/灰化过程，并为可靠操作提供超清洁环境。此外,asher还提供了改进的选择性,以确保对较小的特征进行最少的不需要的蚀刻。TOKYO ELECTRON TE-5000支持1英寸至8英寸的基材尺寸，最高温度为850 °C，最大腔室压力为0.5 torr，Asher带宽为8 kHz。该设备的最大台阶高度为20 µm,还具有可编程线圈组件,可确保均匀蚀刻和均匀还原氧化层。TE 5000还可以对各种晶圆处理细节进行程序嵌入。TE-5000具有多种优化过程的子系统,包括过程反应堆室、过程中室控制单元（ICCU）、坚固的重型SEM柱、快速运行的化学供应系统、高性能微波发生器和实时气体注入单元。它还利用专门的软件包进行快速数据检索、交互式通信、过程优化和友好的图形界面。为了提高安全性和效率，TOKYO ELECTRON TE5000包括晶圆盒倾斜机、用于收集细颗粒的平面内服务袋过滤器（IPF），以及带有过滤器和清洁工具的超安全、降噪外壳。此外，它还通过利用一种专有的热磁控管技术（THANM）来减少气体消耗和降低运行成本，以节省能源。总体而言,TE5000是一种高级蚀刻器/asher,专为晶圆、集成电路和其他组件的精确蚀刻和灰化而设计。凭借先进的光学分光光度计和广泛的尖端特性，该机确保了可靠的操作和改进的可加工性。