二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9236835 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款蚀刻器和asher设备,专门设计用于提供具有最高可靠性和生产率的高性能蚀刻和灰化功能。适用于晶圆加工、光掩模加工、电路板生产、材料去除等多种应用。TEL TE5000是一个全自动系统，包括一个高速、低压、蚀刻室，能够精确控制蚀刻和灰化过程。它具有均匀的蚀刻速率，极好的可重复性，可用于各种先进的蚀刻和灰化化学。利用其自动过程控制单元，以最小的操作员交互作用提供可重复、精确的蚀刻和灰化结果。该机与双级扫描电子显微镜（SEM）和真空处理室完全集成。这些组件使工具能够精确控制蚀刻和灰化过程，同时最大限度地减少蚀刻和灰化化学和底物之间的相互作用。SEM资产还允许对蚀刻和灰化过程进行实时监测,以确保以最少的浪费获得最佳效果。TOKYO ELECTRON TE-5000还提供扩展的工艺能力，包括高通量自动晶片蚀刻、深度蚀刻、特征尺寸控制的选择性蚀刻以及蒸气蚀刻应用。此外，它还配备了一系列先进的蚀刻和灰化化学物质，以支持各种工艺化学物质。这提供了最佳的基板兼容性，并允许更大的过程灵活性和精度比其他蚀刻和灰化系统。TE5000设计为安全可靠的蚀刻和灰化模型。它具有安全联锁功能，可防止意外操作，它的电子停止开关可在紧急情况下自动使设备停止工作。此外，它还设计了增强的电气和安全保护系统，以确保其符合所要求的安全标准。最后,TEL TE 5000是一种用于蚀刻和灰化应用的理想工具.其先进的特性、高精度、可靠的操作和用户友好的界面使其成为任何蚀刻和灰化需求的理想选择。