二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9269142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款半自动、低成本的蚀刻器/asher。它旨在蚀刻和或粉刷薄膜材料。TEL TE5000配备了低功率等离子体源、高输出微波等离子体源和低压低价气源。源组合允许对包括玻璃、硅、金属和有机材料在内的各种基板进行蚀刻或灰化。TOKYO ELECTRON TE-5000蚀刻和灰分设备设计用于提供低价等离子体蚀刻和低压化学灰分工艺。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000蚀刻灰系统通过用户友好的图形用户界面（GUI）进行控制。此接口允许操作员轻松编程和监视蚀刻和灰化过程。TEL TE-5000为单面蚀刻、双面蚀刻、蚀刻和灰分两步蚀刻和灰分等特定工艺提供了多种蚀刻和灰分程序。TE-5000还提供了广泛的溅射模式设置,从用于清洁和脱钛的低功耗DSE模式到用于溅射铝和钛层的大功率DCD模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE5000蚀刻和灰烬单元还配备了先进的诊断技术。该机器提供在线诊断,包括实时分析和蚀刻和灰化过程的预测。这项技术使操作员能够监测原位处理参数的状态，对蚀刻和灰化过程提供即时反馈。TEL TE 5000由刚性、坚固的车架构成,包括各种安全功能,如压力控制机构和冷却系统。TOKYO ELECTRON TE 5000还附有多种附加功能，包括自动等离子体清洗、气体回收和控制系统。TOKYO ELECTRON TE5000是一种通用的、低成本的蚀刻器，用于蚀刻和灰化薄膜材料。它配备了先进的用户界面和诊断技术，便于操作和监控蚀刻和灰化过程。TE 5000为多种底物提供了低价等离子体蚀刻和低压化学灰化模式。此外,该工具还提供在线诊断、自动控制系统和一系列安全功能,包括压力控制和冷却系统。