二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000 #9396121 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000是一款高性能、高精度的蚀刻器/asher,主要设计用于半导体加工。因此，它是内部制造集成电路器件的理想工具。TEL TE5000是一个单站、大面积的蚀刻器/asher,具有高级控制器和完整的流程配方功能。它能够精确设计各种光刻胶，包括为亚微米IC生产而设计的光刻胶。数字通用控制允许快速预热和优化等离子处理功能。TOKYO ELECTRON TE-5000在各种底物上提供均匀的保形蚀刻，包括石英晶片和各种氧化膜。可以精确编程蚀刻速率以满足设备性能要求。硅在不到一分钟的时间内蚀刻不到其厚度的10%。TEL/TOKYO ELECTRON TE-5000还包括一个诊断端口,允许远程监测和分析蚀刻/灰烬过程。此端口允许操作员监视蚀刻均匀性,并根据需要进行调整。TOKYO ELECTRON TE 5000也兼容广泛的元件，用于后蚀刻/灰化应用。这些包括化学浴池、氮干燥器和等离子体气相沉积系统。在灰化过程中，TEL/TOKYO ELECTRON TE5000将以环保的方式清除样品表面的污染物。除了出色的蚀刻/灰烬性能外,TE-5000还非常易于操作。可配置的功能范围允许用户根据自己的需求轻松定制其流程参数。TOKYO ELECTRON TE5000不需要广泛的训练，容易整合到现有的晶圆厂过程中。总体而言,TEL TE-5000是一种高级蚀刻器/asher,可提供卓越的精度、控制和性能。对于希望在内部进行精密半导体蚀刻/灰化并取得世界一流设备生产成果的人来说,它是一个理想的解决方桉。