二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC #9148389 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC是用于高密度低成本蚀刻工艺的先进蚀刻设备。该系统采用独特的设计，利用自动轨道控制（ATC）来控制蚀刻梁的宽度和运动。ATC提供了高精度的蚀刻梁位置和运动，从而提高蚀刻质量。TEL TE 5000S ATC还包括一个高精度的光束定位单元和一个精确控制的蚀刻电流源，以保持均匀的蚀刻速率。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC是一种双层机器，能以高精度和吞吐量蚀刻多层材料。也适用于蚀刻到多种基材上，如SiO2、SiNx、SiGe。蚀刻速率可调节，具有广泛的蚀刻能力，使蚀刻器能够高速、精确地蚀刻。该工具还具有较低的拥有成本，可用于生产细线和结构。TE 5000S ATC利用集成离子源和离子室控制蚀刻速率。资产还包含用于控制蚀刻轮廓的高级控制器。该模型允许快速设置和易于操作的接口来控制过程参数,包括电压、电流、光束方向和蚀刻速率。ATC由步进电机提供动力,用于精确的速度和位置控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC能够蚀刻广泛的材料，包括SiO2、SiNx、SiGe、GaN等等。该设备旨在提供对蚀刻工艺参数包括电流、电压和蚀刻速率的卓越控制，产生高质量的蚀刻效果。该系统可用于刻蚀孔、盲孔、复杂图样以及其他高级刻蚀工艺。TEL TE 5000S ATC拥有高科技不锈钢结构的石英窗和高温玻璃侧壁，提供了极好的保护。该单元设计为易于操作，并具有用户友好界面和图形显示，使其易于设置、监控和存储流程数据。机器还配备了多项安全功能，包括在紧急情况下紧急关闭蚀刻过程。TOKYO ELECTRON TE 5000S ATC为高密度的低成本蚀刻工艺提供了一种健壮、可靠、高效的蚀刻工具。该资产提供了对蚀刻工艺参数的卓越控制，以高速度、高精度、高重复性提供了高质量的结果。该模型非常适合生产细纹和结构，以及用于通孔、盲孔和复杂图样。