二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #197615 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一种蚀刻器/反应性离子蚀刻(RIE)设备,设计技术先进,与各类设备广泛兼容。蚀刻通常在电子应用中用于制造和设计微量和纳米级结构。该系统采用光刻技术,在基板上使用紫外线形成有图样的光致抗蚀剂,然后用反应性气体将其蚀刻到基板上。TEL TE 5000S非常适合多种工艺,包括干蚀刻、湿蚀刻、离子束蚀刻、物理蚀刻和其他特殊蚀刻工艺。TOKYO ELECTRON TE 5000 S由网络化的图形使用者介面提供动力,使蚀刻过程能够有效率和精确的控制。它的各种设置可以预先编程和调整,以达到最佳性能。该单元在配置上的广泛可变性使其适合各种蚀刻应用。它使用各种气体,通过单独调节的气体通量提供最佳工艺。它具有低气体消耗和最小的废物生产,有助于确保越来越环保的机器。该工具采用智能加工室,配有光束柱头和标线级对准系统,提供了高度的精确度和稳定性。它还具有Z轴高度调节资产,这对于蚀刻步骤的可变膜蚀刻速率是必需的。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S的腔室温度可以精确设定为所需的水平。该型号具有先进的安全功能,如自动门锁和紧急关闭,以保护操作员和环境。其机载成像和计量系统允许精确记录蚀刻结构。TOKYO ELECTRON TE 5000S具有各种控制功能,如气流和电流泄漏监测,以及过程气体测试。TE 5000S是许多应用的理想解决方桉,包括复杂的设备加工、基板生产和电路制造。其先进的技术使其成为可靠、高效的工具,确保坚固和准确的蚀刻过程。它是一种经济实惠的设备,可以显着减少制造时间和成本。
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