二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9091958 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是为半导体制造而设计的先进蚀刻机。这个模型是一个单室垂直蚀刻器，有一个真空室，设计最多3-4个蚀刻方程。该蚀刻工具利用可针对各种晶圆尺寸和配置进行调整的工艺参数,从而能够对所有类型的半导体材料进行高质量的蚀刻。TEL TE 5000S利用两个主要会议厅。下室为"蚀刻室"，容纳蚀刻硬件，包括基板穿梭机、管式加热器、支架，以及反应和气体输送系统等工艺设备。上腔是晶片在加工过程中所在的位置。在此，使用真空和微波频率压板在加工前加热晶片，并支撑晶片进行切割和片刻。TOKYO ELECTRON TE 5000 S具有多种工艺能力，包括常规和深度蚀刻、图样蚀刻、可选区域蚀刻。它能够蚀刻硅、砷化氙和其他类型的无定形和多晶半导体材料。TE 5000S通过使用原地化学、热和电气加工，为电子器件和半导体材料的制造提供了多种工艺配方。TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S配备了多步运动控制系统，其中包括在开始前模拟蚀刻过程步骤的真空和运动模拟系统。这使用户能够调整和优化蚀刻过程,以实现最大的蚀刻性能。此外，TOKYO ELECTRON TE 5000S可以编程为蚀刻不同工艺所需的特定层配置和结构。TE 5000 S使用高功率射频源来产生蚀刻加工所需的等离子体能量。该源用于控制蚀刻过程的蚀刻速率和深度。此外,TEL TE 5000 S还提供多种功能,例如映射和剖面分析功能、反应源优化以及气体化学控制,以改善蚀刻结果。总之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一种最先进的垂直蚀刻系统，提供多种工艺能力和特点。TEL TE 5000S具有广泛的蚀刻配方和加工能力,是半导体器件制造的通用工具,具有高质量的蚀刻效果。