二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9128547 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S
ID: 9128547
晶圆大小: 6"
优质的: 1999
Dry etcher, 6" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一种用于特殊应用的蚀刻器/asher,如高级电路的蚀刻、薄膜沉积和等离子体处理。该设备采用高精度自动对焦系统,可实现50微米的精度,非常适合各种应用。TEL TE 5000S是一种利用高反应性化学物质传递到器件基板上的蚀刻器/灰化器。然后通过产生激光束的电脉冲将反应性化学物质转化为等离子体。这种激光束到达基板,将化学物质加热到一定温度。这种反应产生了一种非常精细的合金,它会蚀刻掉表面材料,留下化学纯净、干净的表面。TOKYO ELECTRON TE 5000 S具有内建的检错纠错逻辑分析仪、自动对焦单元、更精确蚀刻的高功率激光光斑大小算法等多种重要特性。该机还具有多种自动化控制功能,包括化学品、定时和设置参数。TE 5000S提供了市场上可用的任何工具的一些最先进的蚀刻/等离子体处理功能。这些特性使得广泛的应用成为可能,例如复杂电子电路的蚀刻、薄膜基板的加工以及氧化层的应用。此外,这项资产还包括最新的光刻工具,如无掩码光刻。TOKYO ELECTRON TE 5000S还包含一个预先编程的蚀刻和等离子体配方库,以便更精确地执行。此外,此模型还提供了多种监视和控制功能,以实现完整的过程控制。此外,TEL TE 5000 S还配备了高产性能监控设备,以实现一致的结果。TE 5000 S 蚀刻器/asher为那些希望精确蚀刻和加工的用户提供了一套出色的功能。该系统具有高度的准确性、可靠的性能和一套自动化的控制功能,以确保取得成功。无论应用如何,TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S都将能够高效、精确地精确蚀刻基板。
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