二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 5000S #9226073 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000S是一款先进的蚀刻器/asher，专为高端精密蚀刻应用而设计。这种蚀刻器/asher是一种用途广泛的高性能装置，旨在方便各种基板的高分辨率光刻蚀刻。它能够在直径不超过8英寸、温度不超过1000 °C的晶片上进行湿法加工。TEL TE 5000S具有先进的顶端多光束扫描仪,并提供精确的蚀刻图样边缘定义,这一过程可以通过先进的边缘抛光技术得到进一步增强。TOKYO ELECTRON TE 5000 S提供了多种独特的专有特性，具有先进的光学成像、高分辨率扫描电子透射测量仪和电子束光刻等多种成像工具，用于图样定义。TE 5000S还包括若干自动化过程控制措施，包括能够监测蚀刻过程中使用的气体和溶液的化学成分，以及蚀刻器内部的温度和压力水平。此外，该装置还配备了一系列工艺测量工具，包括使用原子力显微镜，以确保蚀刻时的最大精度。除了这些功能外，TE 5000 S还具备各种安全功能，以保护设备、操作人员和周围环境。其中包括隔离室、低流量紧急关闭阀以及一系列安全传感器和警报。此外，该装置具有坚固的不锈钢外壳，旨在确保在蚀刻过程中不会以任何方式损坏或降解。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON TE 5000 S是一种强大、精确、可靠的蚀刻/灰化装置。它提供了许多精密的功能,以实现各种基板的精确蚀刻,以及先进的自动化过程控制措施和安全功能,以确保最大程度的安全性和准确性。