二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9137192 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580是由TEL Ltd设计制造的蚀刻/asher设备。该系统设计用于半导体工业，包括光刻、深反应性离子蚀刻（DRIE）和等离子体蚀刻。该单元配备了一个多通道等离子体源、一个晶圆致动器，以及工艺室内部的一个可旋转的磁感器。TEL TE 580非常可靠,可以快速准确地处理高分辨率模式,从而降低成本和周转时间。TOKYO ELECTRON TE 580是一种完全集成的机器，由硬件、软件和工艺技术组成。加工室允许同时蚀刻几个晶片。该工具具有参数设置窗口,具有易于使用的图形界面,可快速准确地设置蚀刻参数。TE 580还具有一个可转动的感受器，与传统的asher系统相比，它可以实现均匀的模式。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580可以执行干式和湿式蚀刻过程，其多通道等离子体源使用电子回旋共振（ECR）技术进行高效等离子体生成。该资产为优化不同材料和应用的基线和工艺配方提供了极大的灵活性。该模型还具有超高真空性能，非常适合进行高长宽比DRIE和远程等离子体蚀刻等工艺。TEL TE 580旨在满足半导体行业对高产率、质量和性能的严格要求。设备配备了先进的过程控制功能，确保了可重复的过程。该系统能够控制诸如温度、等离子体功率、压力控制、底物温度、离子剂量和离子能量等高端工艺参数。此外，TOKYO ELECTRON TE 580还配备了专门的工具，用于详细的工艺分析，以最大限度地提高产量，最大限度地减少蚀刻结果的可变性。综上所述，TE 580是半导体行业可靠有力的asher单元。其多通道等离子体源、可转动感受器和先进的工艺控制能力使其成为精确、可重复的高分辨率蚀刻工艺的理想选择。机器的高真空和过程分析特点保证了良好的效果一致。