二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580 #9198155 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 580
ID: 9198155
Oxide etcher, 6" SiN Mark Prcess: RIE(2).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 580 蚀刻器/asher是一款功能强大、精密的蚀刻和勾勒机,设计用于半导体制造行业。这台机器允许蚀刻多层材料以创建有阵列的晶圆,其特征包括最小的线宽、干净的边缘和衰减的长宽比。离子束净水和湍流控制等特性有助于进一步确保无懈可击的高质量效果。TEL TE 580利用电子束对送入真空室中的特定材料和薄膜进行精确蚀刻或粉刷。机器在负真空压力下运行,以降低蚀刻过程中受到污染的风险。蚀刻过程由个人计算机控制,允许设置精确的参数器,包括梁电流、形状、宽度、角度等。该机配备了一系列传感器和安全机构,如高压互锁功能、EMI屏蔽、机动化舞台补偿等,确保在保持洁净室环境的同时安全准确地进行蚀刻。机器还有多个波束电流监测系统,使机器能够检测正在处理的晶圆材料中的任何失调或差异,并相应调整设置以达到预期的结果。TOKYO ELECTRON TE 580是一款先进的机器,旨在在蚀刻和勾勒复杂材料方面创造完美的效果。该机具有环境安全特点、精密的蚀刻和勾勒能力以及可靠的安全监控,非常适合半导体制造行业的研发。
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