二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #293819191 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一种针对应用实验、分析实验和生产进行优化的蚀刻器/asher。它有一个大的基板级，可以在不需要任何附加工具的情况下进行样品装卸，对其气体电路进行高度改进的设计，以及高效的真空系统。这种蚀刻器/asher的计算机控制速度为0到200Hz，使得基板蚀刻过程的控制更加容易和精确。此外，基板偏置电压可调0到-200V，从而能够控制蚀刻深度和均匀性。它有一个独特的界面，可以方便地输入参数，使它成为一个用户友好的蚀刻器。对于过程控制,TEL TE 580LC使用高精度、原位端点检测以及多种配方设置。这些设置易于编程,并且端点检测可实现一致的结果。通过出色的侧壁轮廓控制和均匀的蚀刻,确保了工艺的可重复性和可重复性,而高速模式则提供了快速的蚀刻性能。其超大型300 mm x 400mm基板托盘可容纳多种样本量，而其数字化的5步可调气体流量计则允许准确可靠的气体引入。TOKYO ELECTRON TE 580LC设有耐化学不锈钢室，耐腐蚀，维修方便。此蚀刻器/asher还具有双频射频发生器,可选择更多的可用功率,其可变功率范围可达500W。最后配备原位清洗系统，防止加工过程中颗粒污染，确保蚀刻过程保持清洁稳定。TE 580LC旨在为用户提供各种基材的最佳蚀刻性能。该蚀刻器具有精确的端点检测、可调的加工速度和可调的气体流速等多种性能特点，非常适合实验和生产。超大的基材尺寸使各种样品得以加工，而其耐化学不锈钢腔室确保了在各种气候下的可靠性能。