二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一种高精度的等离子体蚀刻器/灰化器，可用于多种半导体制造工艺。机器使用等离子体将图样蚀刻或粉刷成半导体基板。其先进的技术可实现高吞吐量和低缺陷率,以及增强的薄膜均匀性和基板到基板的可重复性。该机器具有高达300 mm/s的高速,可确保快速完成蚀刻或灰化过程,并且高吞吐量可最大限度地提高生产率。刚性结构和先进的电机控制系统保证了精确的蚀刻，因为机器即使在高速下也没有振动。它的垂直上下载荷锁配置确保了简单的示例载荷和卸载。此外,由于质量精度高和温度控制,传输延迟也很小.TEL TE 580LC具有可变压力室，能够形成用于蚀刻或灰化过程的质量等离子体。这使机器能够使用广泛的蚀刻剂操作，如含氟化学品、半导体级盐酸和硫基酸。它还具有钛合金整体加工的基板支架，允许高度均匀的蚀刻工艺。为了用户方便起见，该机还有一个符合人体工程学的设计，其中包括一个与用户成角度的斜角液晶显示器，以及一个用户友好的GUI（图形用户界面），带有自定义的流程设置和用于配方存储的大内存。为确保安全，TOKYO ELECTRON TE 580LC拥有一个独特的内置泄漏检测系统，该系统可自动检测和报警腐蚀性液体泄漏的潜在危险以及高效、可编程的安全协议。总体而言,TE 580LC是一款顶级的蚀刻器/asher,具有一系列功能,旨在提供高度可靠、可重复和经济高效的流程。由于质量精度高和温度受控,其先进的技术能够以最小的传输延迟实现高效、精确的蚀刻或灰化。可变压力室和钛合金加工基板支架等附加功能确保了最高质量的蚀刻。其符合人体工程学的设计、用户友好的GUI和安全协议增加了用户的便利性,并确保了处理过程中的安全性。