二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9091964 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一款高精度、高通量的蚀刻器/asher，设计用于半导体和集成电路制造业的多种应用。该设备基于高效、自给自足的系统，集成了等离子体源、工艺室、真空泵、控制器和软件。这种组合为用户提供了高度的准确性和过程控制。TEL TE 580LC能够在线性蚀刻/asher应用程序中处理高达10 μ m的功能大小。该单元配备了多缝线性阵列扫描仪，提供晶片表面的均匀曝光和精确的蚀刻/asher轮廓控制。该腔室具有增强的工艺腔室设计，能够提高吞吐量和更好的工艺控制。TOKYO ELECTRON TE 580LC具有广泛的过程控制功能,例如用于一致蚀刻/灰度的温度反馈控制、实时质谱监测以及精确的压力控制。先进的过程控制技术确保了一致的高质量结果和更高的过程可重复性。TE 580LC还具有广泛的安全功能,如高压安全阀、快门锁定和远程启动。该机有一个集成的气体排气歧管，能够高效、安全地使用气体，并有助于维护安全的工作环境。该工具还具有强大且冗余的冷却资产,具有多个风扇和散热器,可保持工作温度稳定,防止过热并保持长期的模型性能。TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC具有易于使用的图形用户界面,并且自动配方和流程设置可用于常规流程。设备也易于维护，定期进行预防性维护，以确保正常运行。总体而言,TEL TE 580LC是一个可靠且功能强大的蚀刻器/asher系统,可为各种蚀刻/ashing应用程序提供高精度和可重复性。该单元构造坚固，使用方便，能提供优异的性能和一致的效果。