二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109090 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC是一种先进的蚀刻/asher工艺工具，用于超精细的图桉和光滑的表面光洁度。这种蚀刻器/asher提供高通量和出色的颗粒污染控制，并提供优越的均匀性跨晶片。这种先进的蚀刻器/ascher具有加载和卸载卡带。该系统最多可装载8个盒式磁带，从而实现更高效的晶圆传送。先进的TEL TE 580LC asher/etcher还具有改进的阶段设计,可减少晶圆反冲和对晶圆的潜在损坏。一旦载入晶片，TOKYO ELECTRON TE 580LC 蚀刻器/asher利用载荷锁定处理室。该工艺室设有一个或两个升华炉和一个基板偏置。这种技术组合允许改进过程控制、加快晶圆周转和改进边缘定义。蚀刻器/asher还具有高级蚀刻控制功能。这种先进的蚀刻控制允许用户通过自动磁场来改变蚀刻速率。此蚀刻率可根据具体要求进行调整。此外，这种先进的蚀刻器/asher具有高电容储能系统，以提高蚀刻均匀性和精确控制。改进的蚀刻均匀性允许更好的过程重复性和更高的产量。TE 580LC还具有高温过程,最高温度为400°C。此功能有助于实现卓越的配置文件性能并确保高产品质量。它还有助于防止排气,这是降低吞吐量的常见问题。此外，这种先进的蚀刻器/灰烬包括用于污染控制的先进中子辐射探测。此功能有助于确保检测到任何有害污染物并迅速清除。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC 蚀刻器/asher是一种非常先进的工艺工具，用于超精细的图桉和光滑的表面光洁度。它提供了卓越的吞吐量和优越的均匀性跨晶片，并能够实现卓越的轮廓性能和过程可重复性。