二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 580LC #9109092 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC（TEL TE 580LC）是一种用于制造半导体器件的先进蚀刻器/asher。TOKYO ELECTRON TE 580LC是一种全自动的高端加工设备，旨在为晶圆上的细腻金属和多晶硅沉积物的蚀刻和灰化提供卓越的精度和重复性。该系统使用感应耦合的Ar/O2等离子体为晶圆表面的离子和沉积粒子充电。等离子体是在受控环境中使用高频ICP（感应耦合等离子体）功率和离子能量的精确控制产生的。ICP的高能量和低噪声信号保证了蚀刻/灰化表面的理想性能。TE 580LC提供了无与伦比的过程速度和准确性。利用变频ICP功率提高蚀刻速率，提高蚀刻表面均匀性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON TE 580LC可以配置静电夹紧以防止晶片棒，而转弯同步能力允许在多个晶片上实现过程均匀性。该装置占地面积小，非常适合在狭窄的实验室空间中使用。其用户友好的界面和自动化的过程，使得晶圆的高效和快速的处理。该机器包括一个低压环境的真空室，使其能够在不排气或浸出的情况下发挥作用。最后,TEL TE 580LC与各种晶圆尺寸完全兼容,允许客户定制工具以满足其处理需求。此外，还可以调整工艺参数，以优化不同晶圆材料上的蚀刻和灰化。综上所述，TOKYO ELECTRON TE 580LC是晶圆上生产精细金属和多晶硅矿床的理想蚀刻和灰化资产。其先进的性能、紧凑的设计和用户友好性使TE 580LC半导体制造业蚀刻和灰化的最佳选择。