二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7000 #293667492 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000是一款用于生产半导体器件的高速、高精度蚀刻器/asher。它旨在处理各种蚀刻和灰化应用程序,包括单层和多层进程。TEL TE 7000具有单电荷电子束,能够生成具有最小CD变化的高精度图像。该梁的设计目的是确保最小的表面污染和减少重溶损伤。该设备还具有高级索引功能,如中心选择和重复模式。TOKYO ELECTRON TE 7000能够蚀刻许多材料，包括铝、硅、焊料、PHG和WF2。该系统有一个可编程的离子源电源控制单元和几个可编程的过程，包括低渗漏、多层次、优化的高长宽比过程。它还可以进行湿工艺蚀刻和灰化操作。TE 7000配备了晶圆取向和图样对准的先进技术，包括晶圆图测量机和真空卡盘，两者都保证了蚀刻和灰化过程中的高精度。蚀刻和灰化工艺还配备了背面加热工具，用于调节腔室内的温度。此外，该资产还具有自动疏散和排气模型，以保持处理样品的清洁环境。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7000旨在以最小的停机时间运行,并最大限度地提高工作效率。该设备设计具有先进的安全功能和直观的用户界面，便于操作和维护。总体而言，TEL TE 7000是一款高速、高精度的蚀刻器/asher，专为先进的半导体器件生产工艺而设计。其先进的功能确保了材料的精确蚀刻和灰化,且表面污染和重新熔化损伤最小,并且可编程设置确保了最佳的工艺控制。该系统可靠、易于操作,并具有安全功能,可提高工作效率。