二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #293667490 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款高效的蚀刻器/asher，用于先进的底物加工应用。由于TEL TE 7400具有溷合多种气体进行低温、高选择性、低损伤蚀刻的能力，因此非常适合硅、砷、碳、石英基板等多种先进工艺。TOKYO ELECTRON TE 7400提供先进的过程控制,具有多个气体和尺寸控制阀（DCV）,用于精确的蚀刻时间和过程控制。多个反应性气源可以连接到TE 7400，以实现超低损害的Ashing工艺。气体输送和过程参数可以通过使用可重复的参数存储器进行精确调整。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有离轴、高分辨率等离子体发生器，产生具有靶向蚀刻速率和低背景损伤水平的高品质等离子体。离轴发生器具有内置的器件沉积室，能够保护晶圆背面的污染。此外，等离子体发电机还具有冷却和安全保护功能，可确保蚀刻结果的质量和安全环境。TEL TE 7400具有带石英通道模块的多区域热控制设备，允许用户精确控制-20°C至250°C的气体温度。该热控制系统提高了工艺的均匀性，提高了工艺气体控制的灵活性，有效地利用了蚀刻气体。TOKYO ELECTRON TE 7400具有远程监控、等离子体剖析单元、最先进的图像分析机等多种工艺监控功能，以获得更好的吞吐量和准确性，以及检查关键工艺结果的能力。此外,TE 7400提供了广泛的软件控制模块,可以与外部系统（如过程控制系统）连接,以进一步扩展其功能。总而言之，TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款最先进的蚀刻和灰化工具，提供具有先进工艺控制功能的柔性基板处理能力。适用于各种先进的基材加工应用。