二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198161 待售

TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400
ID: 9198161
晶圆大小: 6"
Oxide etchers, 6" Process: RIE(1).
TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款用于电子制造行业的蚀刻器/asher。它是一种高端设备,专为需要精确和精确的应用而设计。该系统采用先进技术,在半导体晶片上以亚微米精度蚀刻和清洗细间距图桉。TEL TE 7400是一个自动化单元,提供实时反馈,以确保在蚀刻和洗涤过程中取得一致的结果。该机器包含一个多气体射流,可以精确选择和控制蚀刻气体。每种气体的压力和流量都是独立控制的,因此蚀刻速率和剖面可以根据具体要求量身定制。桶式加热器将加工室加热至400°C的温度,以提高蚀刻速率和质量。它配备了自动腔室匹配工具(AMS),以补偿工艺腔内可能的温度变化。TOKYO ELECTRON TE 7400能够处理高达300 mm的大型基材尺寸。它利用两个负载锁定系统进行晶圆的双面处理。每个晶片都加载到自己的专用负载锁中,让更大的晶片加载更快。资产灵活的设计包括开门设计,方便维护和服务.该型号与MIA/PPC、ICOS等不同的自动化和控制系统兼容。它还包括一个直观的操作员接口,方便编程和故障排除。TE 7400是电子元件精密蚀刻和洗涤的可靠工具。它是任何电子制造设备的重要组成部分,可以帮助确保制造高质量的产品。
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