二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9198267 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一款为生产先进半导体而设计的蚀刻器/asher。它能够加工尺寸达200毫米的基板，非常适合半导体生产、晶圆探测和包装。该机采用水性湿蚀刻设备,可实现高达100 nm/min的蚀刻速率,并选择高达100 °C的晶圆温度。它还提供多种腔体配置和高级工艺监控功能,允许精确的蚀刻配置文件和精确的故障排除。TEL TE 7400具有高度精确的自动化系统,因为它能够根据温度和其他参数精确控制精确的蚀刻速率。易用的配方也让单位操作直观，设置快捷准确。该机还能处理大量的IC和基板，意味着适合生产运行。TOKYO ELECTRON TE 7400的环境友好型设计利用冷却水来清除任何不希望的蚀刻蒸气，并采用精心设计的排气工具，方便挥发性化合物的排出。封闭式设计还限制了危险蚀刻化学品的暴露。TE 7400具有先进的基于图像的过程监视器,可实现实时晶圆成像,从而实现精确的轮廓控制和过程调整。此监视器还允许深入分析蚀刻过程,从而深入了解关键过程参数。可以启动自动清洗和过度蚀刻操作,以确保在各种基材上保持清洁、一致的蚀刻轮廓。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有精确检测蚀刻速率的能力，自动调整工艺参数以保持精度。这些特性相结合，意味着TEL TE 7400是高度可靠的蚀刻器/asher，保证了先进半导体的高效、精确生产。