二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7400 #9202961 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400是一种专门用于半导体晶圆制造的蚀刻器/灰化器。它在蚀刻和灰化过程中提供卓越、可靠和可重复的性能。TEL TE 7400具有获得专利的热解预处理器设备,可显着降低非均匀蚀刻和灰化的程度。TOKYO ELECTRON TE 7400是一款可编程蚀刻器和asher，具有易于使用的图形用户界面（GUI），用于控制蚀刻和灰烬参数。GUI允许手动控制流程参数,最多可存储50组单独的配方。TE 7400还允许自动处理,这样可以节省停机时间并减少手动操作所需的时间。该蚀刻器设计用于处理各种蚀刻气体，包括O2、SF6、CF4和CHF3。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有反应物气体输送系统，旨在确保将蚀刻气体均匀输送到晶片。晶片在两个加工室中加工，一个用于蚀刻，一个用于粉碎器。蚀刻和灰度时间可调节,范围为0-999秒。TEL TE 7400还具有一个工作站,用于安装从标准设计到定制设计的一系列电极设计。标准设计可用于蚀刻操作,而定制设计可用于缝隙蚀刻操作。TOKYO ELECTRON TE 7400光学单元的设计旨在确保在蚀刻和灰烬操作过程中均匀精确的电极控制,以获得卓越的性能。TE 7400还具有扫描电子质量流控制器（SEMFC）,可帮助准确控制蚀刻室和灰化室中的过程气流。此功能可确保蚀刻和灰化过程精确且可重复。它还有助于最大限度地减少晶片上出现空隙或意外蚀刻或灰烬的机会。最后,TEL/TOKYO ELECTRON TE 7400具有若干安全功能。在进入蚀刻器时有一个自动门互锁以确保安全，在压力超过操作极限时有一个超压开关来关闭蚀刻器。嵌入式监控功能在蚀刻和灰分过程中不断检查晶片的温度。这有助于确保均匀蚀刻和粉刷的精确温度。总体而言，TEL TE 7400是一种专用于半导体晶圆制造的蚀刻器和灰化器，具有优异的性能，易于操作。TOKYO ELECTRON TE 7400凭借其获得专利的预处理器机器和可编程过程控制设置,提供了可靠且可重复的性能,这对于许多蚀刻和灰化操作至关重要。