二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198156 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500是一种蚀刻器和asher设备，设计用于制造各种工业应用中的化学机械抛光（CMP）工艺。该系统提供精确的化学机械材料去除、1埃级晶圆抛光以及多个腔室配置,以实现最佳的工艺吞吐量。它还兼容各种实验模块配置，用于高级研发。TEL TE 7500具有两种工艺类型,即"ePolish"和"etch/Ash"模式。在ePolish模式下，利用CMP技术提供各向同性和表面分段抛光，提供精确的工艺控制和优越的晶圆抛光精度。对于蚀刻/灰分模式,TOKYO ELECTRON TE 7500采用模块化多腔室结构,能够优化蚀刻/灰分配方的处理,并具有有效的晶圆界面,以实现基板传输精度。TE 7500采用数字无刷主轴电机设计,可实现最高的工艺电路效率,使用户能够获得更高的吞吐率。它还具有智能绿洲控制软件,用于监控和调整标准晶圆抛光和蚀刻/灰化过程中的液体环境。这使设备能够自动保持过程稳定性,以提高可重复性和质量控制。TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500还配备了原位氧化物/金属化沉积机,可以立即制备用于抛光、蚀刻或灰化的晶片。此外,TEL TE 7500还采用智能配方控制软件,利用原位氧化物/金属化沉积工具中存储的经过验证的配方数据库,在CMP过程中实时优化工艺参数,以确保最佳循环长度和工艺质量。开源配方开发工具同样可用于测试和开发新流程。TOKYO ELECTRON TE 7500是一款功能强大且可靠的蚀刻器和asher资产,提供卓越的工艺精度和吞吐量。其多种特性使得它成为许多工业应用的理想选择，如晶圆级封装、先进的介电CMP或巨型磁阻器件制造。此模型是控制流程成本的理想解决方桉,它是成功的业务运营的重要组成部分。