二手 TEL / TOKYO ELECTRON TE 7500 #9198159 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 7500是一款用途广泛、可靠、用户友好的蚀刻/灰化设备。它可以用来蚀刻和灰化由多种材料组成的底物,包括SiO2、石英、金属和聚合物。该系统采用离子束蚀刻(IBE)技术,能够精确控制蚀刻过程。它的基板兼容性使其适合各种不同的应用,其先进的特性使其成为诸如MEMS/MOEMS、半导体器件制造和其他新兴技术等应用的理想选择。TEL TE 7500是通过直观的图形界面运行的全自动单元。其内置的电动旋转级和可调节的瓷砖使基板能够精确对准,并最大限度地减少了手动调整的需要。这使得机器易于使用,并且在蚀刻和灰化过程中提供了很高的精度。TOKYO ELECTRON TE 7500配备了多项功能,有助于提高工艺一致性和准确性。这些特点包括一个温度控制工具,保持精确的温度,用于精确的反应控制和蚀刻速率,以及一个传感器,在蚀刻过程中监控压力,以确保稳定有效的化学反应。此外,资产还具有专用的光束诊断模型,可帮助实时监控蚀刻过程,并提供有助于优化结果和缩短处理时间的反馈。设备采用可调节的喷嘴和真空线,允许在蚀刻和灰化过程中发挥最大效率。它还使用可调蚀刻光束和静电卡盘,以便在蚀刻过程中优化电荷对准。最后,系统包括一个自动清洁模块,可帮助减少维护和停机时间。总体而言,TE 7500是一款出色的蚀刻/灰化设备,具有使其适合各种应用的特点和功能。它具有质量结果所需的耐用、准确性和精确度,而且易于使用,因此非常适合任何技能级别的用户。
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